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基于Petri網(wǎng)的半導體晶圓制造系統(tǒng)建模與分析
晶圓制造生產(chǎn)線由于存在回流、并發(fā)、資源共享、隨機性的重做以及突發(fā)性設備故障等現(xiàn)象,使得生產(chǎn)管理及調度問題變得極為復雜.建立描述系統(tǒng)的模型是優(yōu)化系統(tǒng)性能的前提,指出了用Petri網(wǎng)建立晶圓制造系統(tǒng)模型的優(yōu)點,建立了一個擁有4個工作中心、8臺設備的晶圓制造系統(tǒng)Petri網(wǎng)模型,并對模型進行分析.最后提出了下一步的工作目標.
作 者： 邵志芳 錢省三 作者單位： 上海理工大學,工業(yè)工程研究所/微電子發(fā)展研究中心,上海,200093 刊 名： 系統(tǒng)工程理論方法應用 ISTIC PKU 英文刊名： SYSTEMS ENGINEERING-THEORY METHODOLOGY APPLICATIONS 年，卷(期)： 2004 13(2) 分類號： N945.12 關鍵詞： 半導體晶圓制造 Petri網(wǎng)模型 分析【基于Petri網(wǎng)的半導體晶圓制造系統(tǒng)建模與分析】相關文章：
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