潔凈室內(nèi)化學(xué)氣體污染物的分類及控制

提出以控制半導(dǎo)體行業(yè)AMC污染為目的,對(duì)應(yīng)污染產(chǎn)生的來(lái)源應(yīng)采取的減除措施.并細(xì)述各種化學(xué)過(guò)濾器的分類及適用場(chǎng)合,最后列舉實(shí)際案例說(shuō)明化學(xué)過(guò)濾器的選配及安裝位置.

作 者： 趙慶 蘇偉勝 Zhao Qing Su Weisheng   作者單位： 趙慶,Zhao Qing(廣東省城鄉(xiāng)規(guī)劃設(shè)計(jì)研究院深圳分院,深圳,518000)

蘇偉勝,Su Weisheng(四川省成都市弗瑞斯空間策劃顧問(wèn)機(jī)構(gòu),成都,610051) 

刊 名： 制冷與空調(diào)（四川）  英文刊名： REFRIGERATION & AIR CONDITIONING  年，卷(期)： 2009 23(4)  分類號(hào)： X131.1  關(guān)鍵詞： AMC   污染源   活性炭   兼容性   吸附  

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